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沉墨的猫-分享

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沉墨的猫:单晶硅真空泵油位过高故障实例  

2008-12-26 22:35:45|  分类: B维修实例 |  标签: |举报 |字号 订阅

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 一、现象描述

 2003820日上午单晶硅真空泵(ZX-70A)由于油位较高出现如下现象:

    1、手盘动皮带轮很费力;

    2、启动时转不动、负荷大;

    同时,油位过高会出现:

    3、运转一段时间油箱整体温升较高;

    4、初启动机体运转不平稳、有振动。

 

 二、原因分析

    1、油位过高,油会通过油箱进入到泵腔,致使手盘动皮带轮费力,启动时负荷较大,甚至启动困难,通常情况下静止的真空泵泵腔内会存储有大量的油。

    2、泵运行油位过高,充斥油箱,不利于机体特别是油箱部分的散热,同时会造成排气不畅,温度较高时使得排出的气体富含大量的油。

    3、油量过多,启动真空泵时旋片急速运转,油不易及时排出,随同旋片一同运转,会产生振动,运转不平稳的现象。

 

三、处理方法

由于一般真空泵油箱的真空油会流入泵腔(旋片室),造成泵启动困难。因此,在启动泵前预先要用手盘动皮带盘(正确方向),将泵腔内的存油全部排至油箱,再将油箱多余的油排放出,使油面降至视镜的1/2-2/3的位置,再正常启动真空泵。(长期静止停放的真空泵要求每月对泵跑合运行1小时,防止泵内零件生锈。)

处理步骤如下:

1、清洁视油镜;

2、用手盘动皮带盘(正确方向:按照安全罩指示方向),查看油位;

3、将油箱内多余的油排放出,使油面降至视镜的1/2-2/3的位置。

4、按正确程序启动真空泵。

 

 

 

四、操作程序

    1、检查油位,要求油位在视镜的1/2-2/3的位置(按照三、处理方法操作);

    2、启动真空泵后再切换阀门,同时关阀另一台真空泵的进气阀;

    3、再停止另一台真空泵。

 

 五、操作要领

         先开启泵再开阀,先关阀再停泵(避免泵反转,在启动过程中电流过大,同时减轻旋片和轴承的磨损程度)。

                 

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